कणांच्या कडक नियंत्रणाव्यतिरिक्त, चिप उत्पादन कार्यशाळा, इंटिग्रेटेड सर्किट डस्ट-फ्री वर्कशॉप आणि डिस्क मॅन्युफॅक्चरिंग वर्कशॉप्सद्वारे प्रस्तुत इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूममध्ये तापमान आणि आर्द्रता नियंत्रण, प्रदीपन आणि सूक्ष्म-शॉकसाठी कठोर आवश्यकता आहेत. उत्पादन उत्पादनांवर स्थिर विजेचा प्रभाव कठोरपणे काढून टाका, जेणेकरून पर्यावरण स्वच्छ वातावरणात इलेक्ट्रॉनिक उत्पादनांच्या उत्पादन प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करू शकेल.
इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूमचे तापमान आणि आर्द्रता उत्पादन प्रक्रियेच्या आवश्यकतांनुसार निर्धारित केली पाहिजे. जेव्हा उत्पादन प्रक्रियेसाठी कोणत्याही विशिष्ट आवश्यकता नसतात तेव्हा तापमान 20-26°C असू शकते आणि सापेक्ष आर्द्रता 30%-70% असते. कर्मचारी स्वच्छ खोली आणि लिव्हिंग रूमचे तापमान 16-28 डिग्री सेल्सियस असू शकते. चिनी राष्ट्रीय मानक GB-50073 नुसार, जे आंतरराष्ट्रीय ISO मानकांशी सुसंगत आहे, या प्रकारच्या स्वच्छ खोलीची स्वच्छता पातळी 1-9 आहे. त्यापैकी, वर्ग 1-5, वायु प्रवाह नमुना एकदिशात्मक प्रवाह किंवा मिश्रित प्रवाह आहे; वर्ग 6 वायु प्रवाह पॅटर्न एक दिशाहीन प्रवाह आहे आणि हवेतील बदल 50-60 वेळा/तास आहे; वर्ग 7 वायु प्रवाह प्रकार एक दिशाहीन प्रवाह आहे, आणि हवा बदल 15-25 वेळा/तास आहे; वर्ग 8-9 वायु प्रवाह प्रकार एक दिशाहीन प्रवाह आहे, हवा बदल 10-15 वेळा/तास आहे.
सध्याच्या वैशिष्ट्यांनुसार, वर्ग 10,000 इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूममधील आवाज पातळी 65dB(A) पेक्षा जास्त नसावी.
1. इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूममधील उभ्या प्रवाहाच्या स्वच्छ खोलीचे संपूर्ण प्रमाण 60% पेक्षा कमी नसावे आणि क्षैतिज एकदिशात्मक प्रवाह स्वच्छ खोली 40% पेक्षा कमी नसावे, अन्यथा तो आंशिक दिशाहीन प्रवाह असेल.
2. इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूम आणि घराबाहेरील स्टॅटिक प्रेशरमधील फरक 10Pa पेक्षा कमी नसावा आणि वेगवेगळ्या हवेच्या स्वच्छतेसह स्वच्छ क्षेत्रे आणि गैर-स्वच्छ क्षेत्रांमधील स्थिर दाब फरक 5Pa पेक्षा कमी नसावा.
3. वर्ग 10000 इलेक्ट्रॉनिक क्लीन रूममध्ये ताजी हवेचे प्रमाण खालील दोन वस्तूंचे मूल्य घेतले पाहिजे.
4. इनडोअर एक्झॉस्ट एअर व्हॉल्यूम आणि इनडोअर पॉझिटिव्ह प्रेशर व्हॅल्यू राखण्यासाठी आवश्यक असलेल्या ताजी हवेच्या व्हॉल्यूमची बेरीज करा.
5. प्रति तास स्वच्छ खोलीला पुरविल्या जाणाऱ्या ताजी हवेचे प्रमाण 40 चौरस मीटरपेक्षा कमी नाही याची खात्री करा.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-०८-२०२४