स्वच्छ खोलीत तापमान आणि हवेचे दाब नियंत्रण

पर्यावरणाच्या संरक्षणास अधिकाधिक लक्ष दिले जाते, विशेषत: धुके हवामान वाढल्यामुळे. क्लीन रूम अभियांत्रिकी हे पर्यावरण संरक्षण उपायांपैकी एक आहे. पर्यावरण संरक्षणामध्ये चांगले काम करण्यासाठी क्लीन रूम अभियांत्रिकी कशी वापरावी? क्लीन रूम अभियांत्रिकीमधील नियंत्रणाबद्दल बोलूया.

स्वच्छ खोलीत तापमान आणि आर्द्रता नियंत्रण

स्वच्छ जागांचे तापमान आणि आर्द्रता प्रामुख्याने प्रक्रियेच्या आवश्यकतेनुसार निर्धारित केली जाते, परंतु प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करताना, मानवी सांत्वन विचारात घेतले पाहिजे. हवेच्या स्वच्छतेच्या आवश्यकतांच्या सुधारणेसह, प्रक्रियेत तापमान आणि आर्द्रतेसाठी कठोर आवश्यकतेचा कल आहे.

एक सामान्य तत्व म्हणून, प्रक्रियेच्या वाढत्या अचूकतेमुळे, तापमानातील चढ -उतार श्रेणीची आवश्यकता लहान आणि लहान होत चालली आहे. उदाहरणार्थ, मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट उत्पादनाच्या लिथोग्राफी आणि एक्सपोजर प्रक्रियेमध्ये, मुखवटा सामग्री म्हणून वापरल्या जाणार्‍या ग्लास आणि सिलिकॉन वेफर्समधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक वाढत चालला आहे.

तापमान 1 डिग्रीने वाढते तेव्हा 100 μ एम व्यासासह सिलिकॉन वेफरने 0.24 μ मीटर रेषेचा विस्तार होतो. म्हणूनच, ± ०.१ centlent सतत तापमान आवश्यक आहे आणि आर्द्रता मूल्य सामान्यत: कमी असते कारण घाम झाल्यावर उत्पादन दूषित होईल, विशेषत: सेमीकंडक्टर वर्कशॉपमध्ये सोडियमपासून घाबरतात. या प्रकारची कार्यशाळा 25 ℃ पेक्षा जास्त नसावी.

अत्यधिक आर्द्रतेमुळे अधिक समस्या उद्भवतात. जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 55%पेक्षा जास्त असेल, तेव्हा थंड पाण्याच्या पाईपच्या भिंतीवर संक्षेपण तयार होईल. जर ते सुस्पष्ट डिव्हाइस किंवा सर्किट्समध्ये उद्भवले तर ते विविध अपघातांना कारणीभूत ठरू शकते. जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 50%असते तेव्हा गंजणे सोपे असते. याव्यतिरिक्त, जेव्हा आर्द्रता खूप जास्त असते, तेव्हा सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावर चिकटलेली धूळ हवेत पाण्याच्या रेणूंच्या माध्यमातून पृष्ठभागावर रासायनिकदृष्ट्या शोषली जाईल, जी काढणे कठीण आहे.

सापेक्ष आर्द्रता जितकी जास्त असेल तितकेच आसंजन काढून टाकणे कठीण आहे. तथापि, जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 30%पेक्षा कमी असते, तेव्हा इलेक्ट्रोस्टेटिक शक्तीच्या क्रियेमुळे कण देखील पृष्ठभागावर सहजपणे शोषले जातात आणि मोठ्या संख्येने सेमीकंडक्टर डिव्हाइस ब्रेकडाउनची शक्यता असते. सिलिकॉन वेफर उत्पादनासाठी इष्टतम तापमान श्रेणी 35-45%आहे.

हवेचा दाबनियंत्रणस्वच्छ खोलीत 

बहुतेक स्वच्छ जागांसाठी, बाह्य प्रदूषण आक्रमण करण्यापासून रोखण्यासाठी, बाह्य दाब (स्थिर दबाव) पेक्षा अंतर्गत दबाव (स्थिर दबाव) जास्त राखणे आवश्यक आहे. दबाव फरकांची देखभाल सामान्यत: खालील तत्त्वांचे पालन केले पाहिजे:

1. स्वच्छ जागांमधील दबाव नसलेल्या स्वच्छ जागांपेक्षा जास्त असावा.

२. उच्च स्वच्छतेच्या पातळीसह जागांमधील दबाव कमी स्वच्छतेच्या पातळीसह जवळच्या जागांपेक्षा जास्त असावा.

3. स्वच्छ खोल्यांमधील दरवाजे उच्च स्वच्छतेची पातळी असलेल्या खोल्यांकडे उघडले पाहिजेत.

दबाव फरकांची देखभाल ताजी हवेच्या प्रमाणात अवलंबून असते, जे या दबाव फरकाच्या अंतरातून हवेच्या गळतीची भरपाई करण्यास सक्षम असेल. तर दबाव फरकाचा शारीरिक अर्थ म्हणजे स्वच्छ खोलीतील विविध अंतरांमधून गळती (किंवा घुसखोरी) हवेच्या प्रवाहाचा प्रतिकार.