स्वच्छ खोलीत तापमान आणि हवेचा दाब नियंत्रण

पर्यावरण संरक्षणाकडे अधिकाधिक लक्ष दिले जाते, विशेषत: धुक्याच्या वाढत्या हवामानासह. स्वच्छ खोली अभियांत्रिकी पर्यावरण संरक्षण उपायांपैकी एक आहे. पर्यावरण संरक्षणात चांगले काम करण्यासाठी स्वच्छ खोली अभियांत्रिकी कसे वापरावे? चला स्वच्छ खोली अभियांत्रिकीमधील नियंत्रणाबद्दल बोलूया.

स्वच्छ खोलीत तापमान आणि आर्द्रता नियंत्रण

स्वच्छ जागांचे तापमान आणि आर्द्रता प्रामुख्याने प्रक्रियेच्या आवश्यकतांवर आधारित निर्धारित केली जाते, परंतु प्रक्रिया आवश्यकता पूर्ण करताना, मानवी आराम लक्षात घेतला पाहिजे. हवेच्या स्वच्छतेच्या आवश्यकतांमध्ये सुधारणा झाल्यामुळे, प्रक्रियेत तापमान आणि आर्द्रतेसाठी कठोर आवश्यकतांचा कल आहे.

सामान्य तत्त्वानुसार, प्रक्रियेच्या वाढत्या सुस्पष्टतेमुळे, तापमान चढउतार श्रेणीची आवश्यकता लहान आणि लहान होत चालली आहे. उदाहरणार्थ, मोठ्या प्रमाणात इंटिग्रेटेड सर्किट उत्पादनाच्या लिथोग्राफी आणि एक्सपोजर प्रक्रियेत, मुखवटा सामग्री म्हणून वापरल्या जाणाऱ्या काच आणि सिलिकॉन वेफर्समधील थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक अधिक कमी होत आहे.

100 μm व्यासासह एक सिलिकॉन वेफर जेव्हा तापमान 1 डिग्रीने वाढते तेव्हा 0.24 μm चा रेखीय विस्तार होतो. म्हणून, ± 0.1 ℃ एक स्थिर तापमान आवश्यक आहे, आणि आर्द्रता मूल्य सामान्यतः कमी असते कारण घाम आल्यानंतर, उत्पादन दूषित होईल, विशेषत: सेमीकंडक्टर कार्यशाळेत ज्यांना सोडियमची भीती वाटते. या प्रकारच्या कार्यशाळेचे तापमान 25℃ पेक्षा जास्त नसावे.

जास्त आर्द्रतेमुळे अधिक समस्या निर्माण होतात. जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 55% पेक्षा जास्त असेल तेव्हा थंड पाण्याच्या पाईपच्या भिंतीवर संक्षेपण तयार होईल. हे अचूक उपकरणांमध्ये किंवा सर्किटमध्ये आढळल्यास, यामुळे विविध अपघात होऊ शकतात. जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 50% असते तेव्हा गंजणे सोपे होते. याव्यतिरिक्त, जेव्हा आर्द्रता खूप जास्त असते, तेव्हा सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावर चिकटलेली धूळ हवेतील पाण्याच्या रेणूंद्वारे पृष्ठभागावर रासायनिकरित्या शोषली जाते, जी काढणे कठीण असते.

सापेक्ष आर्द्रता जितकी जास्त असेल तितके आसंजन काढून टाकणे कठीण आहे. तथापि, जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 30% पेक्षा कमी असते, तेव्हा इलेक्ट्रोस्टॅटिक शक्तीच्या कृतीमुळे कण देखील पृष्ठभागावर सहजपणे शोषले जातात आणि मोठ्या संख्येने सेमीकंडक्टर उपकरणे खराब होण्याची शक्यता असते. सिलिकॉन वेफर उत्पादनासाठी इष्टतम तापमान श्रेणी 35-45% आहे.

हवेचा दाबनियंत्रणस्वच्छ खोलीत 

बऱ्याच स्वच्छ जागांसाठी, बाह्य प्रदूषणाला आक्रमण करण्यापासून रोखण्यासाठी, बाह्य दाब (स्थिर दाब) पेक्षा अंतर्गत दाब (स्थिर दाब) जास्त राखणे आवश्यक आहे. दबाव फरक राखण्यासाठी सामान्यतः खालील तत्त्वांचे पालन केले पाहिजे:

1. स्वच्छ जागांमध्ये दाब स्वच्छ नसलेल्या जागांपेक्षा जास्त असावा.

2. उच्च स्वच्छता पातळी असलेल्या जागांमध्ये दाब कमी स्वच्छता पातळी असलेल्या समीपच्या जागांपेक्षा जास्त असावा.

3. स्वच्छ खोल्यांमधील दरवाजे उच्च स्वच्छता पातळी असलेल्या खोल्यांच्या दिशेने उघडले पाहिजेत.

दाबातील फरक राखणे ताज्या हवेच्या प्रमाणावर अवलंबून असते, जे या दाबाच्या फरकाखाली असलेल्या अंतरातून हवेच्या गळतीची भरपाई करण्यास सक्षम असावे. तर दाबाच्या फरकाचा भौतिक अर्थ म्हणजे स्वच्छ खोलीतील विविध अंतरांमधून गळती (किंवा घुसखोरी) वायु प्रवाहाचा प्रतिकार.