पर्यावरण संरक्षणाकडे अधिकाधिक लक्ष दिले जात आहे, विशेषतः धुक्याचे प्रमाण वाढत असताना. स्वच्छ खोली अभियांत्रिकी ही पर्यावरण संरक्षण उपायांपैकी एक आहे. पर्यावरण संरक्षणात चांगले काम करण्यासाठी स्वच्छ खोली अभियांत्रिकी कशी वापरावी? चला स्वच्छ खोली अभियांत्रिकीमधील नियंत्रणाबद्दल बोलूया.
स्वच्छ खोलीत तापमान आणि आर्द्रता नियंत्रण
स्वच्छ जागांचे तापमान आणि आर्द्रता प्रामुख्याने प्रक्रियेच्या आवश्यकतांवर आधारित निश्चित केली जाते, परंतु प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण करताना, मानवी आरामाचा विचार केला पाहिजे. हवेच्या स्वच्छतेच्या आवश्यकतांमध्ये सुधारणा झाल्यामुळे, प्रक्रियेत तापमान आणि आर्द्रतेसाठी कठोर आवश्यकतांचा ट्रेंड आहे.
सामान्य तत्वानुसार, प्रक्रियेच्या वाढत्या अचूकतेमुळे, तापमान चढउतार श्रेणीची आवश्यकता कमी-अधिक होत चालली आहे. उदाहरणार्थ, मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट उत्पादनाच्या लिथोग्राफी आणि एक्सपोजर प्रक्रियेत, मास्क मटेरियल म्हणून वापरल्या जाणाऱ्या काचेच्या आणि सिलिकॉन वेफर्समधील थर्मल एक्सपेंशन गुणांकातील फरक वाढत्या प्रमाणात कमी होत चालला आहे.
१०० μm व्यासाचा सिलिकॉन वेफर तापमान १ अंशाने वाढल्यावर ०.२४ μm रेषीय विस्तार घडवून आणतो. म्हणून, ± ०.१ ℃ चे स्थिर तापमान आवश्यक आहे आणि आर्द्रता मूल्य सामान्यतः कमी असते कारण घाम आल्यानंतर, उत्पादन दूषित होईल, विशेषतः अर्धवाहक कार्यशाळांमध्ये जिथे सोडियमची भीती असते. या प्रकारच्या कार्यशाळेचे तापमान २५ ℃ पेक्षा जास्त नसावे.
जास्त आर्द्रतेमुळे अधिक समस्या निर्माण होतात. जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता ५५% पेक्षा जास्त असते तेव्हा थंड पाण्याच्या पाईपच्या भिंतीवर संक्षेपण तयार होते. जर ते अचूक उपकरणांमध्ये किंवा सर्किटमध्ये घडले तर त्यामुळे विविध अपघात होऊ शकतात. जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता ५०% असते तेव्हा ते गंजणे सोपे असते. याव्यतिरिक्त, जेव्हा आर्द्रता खूप जास्त असते तेव्हा सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावर चिकटलेली धूळ हवेतील पाण्याच्या रेणूंद्वारे पृष्ठभागावर रासायनिकरित्या शोषली जाते, जी काढून टाकणे कठीण असते.
सापेक्ष आर्द्रता जितकी जास्त असेल तितके चिकटपणा काढून टाकणे कठीण होते. तथापि, जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता ३०% पेक्षा कमी असते, तेव्हा इलेक्ट्रोस्टॅटिक बलाच्या क्रियेमुळे कण पृष्ठभागावर सहजपणे शोषले जातात आणि मोठ्या संख्येने अर्धवाहक उपकरणे तुटण्याची शक्यता असते. सिलिकॉन वेफर उत्पादनासाठी इष्टतम तापमान श्रेणी ३५-४५% आहे.
हवेचा दाबनियंत्रणस्वच्छ खोलीत
बहुतेक स्वच्छ जागांसाठी, बाह्य प्रदूषण आक्रमण करण्यापासून रोखण्यासाठी, अंतर्गत दाब (स्थिर दाब) बाह्य दाब (स्थिर दाब) पेक्षा जास्त राखणे आवश्यक आहे. दाब फरक राखण्यासाठी सामान्यतः खालील तत्त्वांचे पालन केले पाहिजे:
१. स्वच्छ जागांमध्ये दाब हा स्वच्छ नसलेल्या जागांपेक्षा जास्त असावा.
२. उच्च स्वच्छता पातळी असलेल्या जागांमध्ये दाब कमी स्वच्छता पातळी असलेल्या लगतच्या जागांपेक्षा जास्त असावा.
३. स्वच्छ खोल्यांमधील दरवाजे उच्च स्वच्छता पातळी असलेल्या खोल्यांसाठी उघडले पाहिजेत.
दाब फरक राखणे हे ताज्या हवेच्या प्रमाणावर अवलंबून असते, जे या दाब फरकाखालील अंतरातून होणाऱ्या हवेच्या गळतीची भरपाई करण्यास सक्षम असावे. म्हणून दाब फरकाचा भौतिक अर्थ म्हणजे स्वच्छ खोलीतील विविध अंतरांमधून गळती (किंवा घुसखोरी) हवेच्या प्रवाहाचा प्रतिकार.
पोस्ट वेळ: जुलै-२१-२०२३