स्वच्छ खोलीत एअरफ्लो संस्थेवर परिणाम करणारे घटक काय आहेत?

आयसी मॅन्युफॅक्चरिंग उद्योगातील चिप उत्पन्न दर चिपवर जमा केलेल्या हवेच्या कणांच्या आकार आणि संख्येशी जवळून संबंधित आहे. स्वच्छ खोलीची स्वच्छता सुनिश्चित करण्यासाठी एक चांगली एअरफ्लो संस्था धूळ स्त्रोताद्वारे तयार केलेले कण स्वच्छ खोलीपासून दूर ठेवू शकते, म्हणजेच स्वच्छ खोलीतील एअरफ्लो संस्था आयसी उत्पादनाच्या उत्पन्नाच्या दरामध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. क्लीन रूममध्ये एअरफ्लो संस्थेच्या डिझाइनला खालील उद्दीष्टे साध्य करणे आवश्यक आहे: हानिकारक कणांची धारणा टाळण्यासाठी प्रवाह क्षेत्रातील एडी करंट कमी किंवा दूर करणे; क्रॉस दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी योग्य सकारात्मक दबाव ग्रेडियंट ठेवा.

एअरफ्लो फोर्स

स्वच्छ खोलीच्या तत्त्वानुसार, कणांवर कार्य करणार्‍या सैन्यात वस्तुमान शक्ती, आण्विक शक्ती, कणांमधील आकर्षण, एअरफ्लो फोर्स इ. समाविष्ट आहे.

एअरफ्लो फोर्स: वितरणामुळे होणा re ्या एअरफ्लोच्या शक्तीचा संदर्भ, एअरफ्लो, थर्मल कन्व्हेक्शन एअरफ्लो, कृत्रिम ढवळणे आणि कण वाहून नेण्यासाठी विशिष्ट प्रवाह दरासह इतर वायुप्रवाह. स्वच्छ खोलीच्या वातावरणाच्या तांत्रिक नियंत्रणासाठी, एअरफ्लो फोर्स हा सर्वात महत्वाचा घटक आहे.

प्रयोगांनी हे सिद्ध केले आहे की एअरफ्लो हालचालीत कण जवळजवळ समान वेगाने एअरफ्लो हालचालीचे अनुसरण करतात. हवेतील कणांची स्थिती एअरफ्लो वितरणाद्वारे निश्चित केली जाते. घरातील कणांवर परिणाम करणारे एअरफ्लो मुख्यतः समाविष्ट करतात: हवाई पुरवठा एअरफ्लो (प्राथमिक एअरफ्लो आणि दुय्यम एअरफ्लोसह), एअरफ्लो आणि थर्मल कन्व्हेक्शन एअरफ्लो आणि प्रक्रिया ऑपरेशन आणि औद्योगिक उपकरणांमुळे उद्भवणारे एअरफ्लो. स्वच्छ खोल्यांमध्ये वेगवेगळ्या हवाई पुरवठा पद्धती, स्पीड इंटरफेस, ऑपरेटर आणि औद्योगिक उपकरणे आणि प्रेरित घटना सर्व स्वच्छतेच्या पातळीवर परिणाम करणारे घटक आहेत.

एअरफ्लो संस्थेवर परिणाम करणारे घटक

1. हवाई पुरवठा पद्धतीचा प्रभाव

(1). हवाई पुरवठा वेग

एकसमान एअरफ्लो सुनिश्चित करण्यासाठी, हवाई पुरवठा वेग एकसमान स्वच्छ खोलीत एकसमान असणे आवश्यक आहे; हवाई पुरवठा पृष्ठभागाचा डेड झोन लहान असणे आवश्यक आहे; आणि यूएलपीए मधील दबाव ड्रॉप देखील एकसमान असणे आवश्यक आहे.

एकसमान हवा पुरवठा वेग: म्हणजेच, एअरफ्लोची असमानता ± 20%च्या आत नियंत्रित केली जाते.

हवाई पुरवठा पृष्ठभागावरील कमी डेड झोन: केवळ यूएलपीए फ्रेमचे विमान क्षेत्र कमी केले जाऊ नये, परंतु महत्त्वाचे म्हणजे, अनावश्यक फ्रेम सुलभ करण्यासाठी मॉड्यूलर एफएफयू स्वीकारला पाहिजे.

अनुलंब युनिडायरेक्शनल एअरफ्लो सुनिश्चित करण्यासाठी, फिल्टरची प्रेशर ड्रॉप निवड देखील खूप महत्वाची आहे, ज्यासाठी फिल्टरमधील दबाव कमी होणे विचलित होऊ शकत नाही.

(2). एफएफयू सिस्टम आणि अक्षीय फ्लो फॅन सिस्टम दरम्यान तुलना

एफएफयू एक फॅन आणि फिल्टर (यूएलपीए) असलेले एअर सप्लाय युनिट आहे. एफएफयूच्या केन्द्रापसारक चाहत्याने हवा चोखल्यानंतर, डायनॅमिक प्रेशर एअर डक्टमध्ये स्थिर दाबात रूपांतरित होते आणि उलपाने समान रीतीने उडवले जाते. कमाल मर्यादेवरील हवेचा पुरवठा दबाव नकारात्मक दबाव असतो, जेणेकरून फिल्टर बदलले जाते तेव्हा स्वच्छ खोलीत कोणतीही धूळ पडणार नाही. प्रयोगांनी हे सिद्ध केले आहे की एफएफयू सिस्टम एअर आउटलेट एकसारखेपणा, एअरफ्लो समांतरता आणि वेंटिलेशन कार्यक्षमता निर्देशांकाच्या दृष्टीने अक्षीय फ्लो फॅन सिस्टमपेक्षा श्रेष्ठ आहे. कारण एफएफयू सिस्टमची एअरफ्लो समांतरता अधिक चांगली आहे. एफएफयू सिस्टमचा वापर स्वच्छ खोलीतील एअरफ्लो अधिक चांगल्या प्रकारे आयोजित करू शकतो.

(3). एफएफयूच्या स्वतःच्या संरचनेचा प्रभाव

एफएफयू प्रामुख्याने चाहते, फिल्टर, एअरफ्लो मार्गदर्शक डिव्हाइस आणि इतर घटकांनी बनलेले आहे. स्वच्छ खोली डिझाइनची आवश्यक स्वच्छता साध्य करू शकते की नाही याची अल्ट्रा-उच्च कार्यक्षमता फिल्टर यूएलपीए सर्वात महत्वाची हमी आहे. फिल्टरची सामग्री प्रवाह फील्डच्या एकसमानतेवर देखील परिणाम करेल. जेव्हा फिल्टर आउटलेटमध्ये खडबडीत फिल्टर मटेरियल किंवा लॅमिनेर फ्लो प्लेट जोडली जाते, तेव्हा आउटलेट फ्लो फील्ड सहजपणे एकसमान बनविले जाऊ शकते.

2. स्वच्छतेच्या वेगवेगळ्या स्पीड इंटरफेसचा प्रभाव

त्याच स्वच्छ खोलीत, कार्यरत क्षेत्र आणि उभ्या युनिडायरेक्शनल फ्लोच्या नॉन-वर्किंग क्षेत्राच्या दरम्यान, यूएलपीए आउटलेटमध्ये हवेच्या गतीच्या फरकामुळे, इंटरफेसवर मिश्रित भोवरा प्रभाव तयार केला जाईल आणि हा इंटरफेस एक अशांत होईल विशेषत: उच्च हवेच्या अशांततेच्या तीव्रतेसह एअर फ्लो झोन. कण उपकरणांच्या पृष्ठभागावर संक्रमित केले जाऊ शकतात आणि उपकरणे आणि वेफर्स दूषित करतात.

3. कर्मचारी आणि उपकरणांचा प्रभाव

जेव्हा स्वच्छ खोली रिक्त असते, तेव्हा खोलीतील हवेच्या प्रवाहाची वैशिष्ट्ये सामान्यत: डिझाइन आवश्यकता पूर्ण करतात. एकदा उपकरणे स्वच्छ खोलीत प्रवेश केल्यावर, कर्मचारी हलवा आणि उत्पादने प्रसारित झाल्या की, हवाई प्रवाह संस्थेमध्ये अपरिहार्यपणे अडथळे येतील. उदाहरणार्थ, उपकरणाच्या कोपरे किंवा काठावर, गॅसला अशांत झोन तयार करण्यासाठी वळविला जाईल आणि झोनमधील द्रव गॅसद्वारे सहजपणे वाहून जात नाही, ज्यामुळे प्रदूषण होते. त्याच वेळी, सतत ऑपरेशनमुळे उपकरणांची पृष्ठभाग गरम होईल आणि तापमान ग्रेडियंट मशीनजवळील एक रिफ्लो झोन कारणीभूत ठरेल, ज्यामुळे रिफ्लो झोनमध्ये कण जमा होईल. त्याच वेळी, उच्च तापमानामुळे कण सहजपणे सुटू शकतात. ड्युअल इफेक्ट संपूर्ण उभ्या लॅमिनेर स्वच्छतेवर नियंत्रण ठेवण्याची अडचण वाढवते. क्लीन रूममधील ऑपरेटरकडून धूळ या रिफ्लो झोनमधील वेफर्सचे पालन करणे खूप सोपे आहे.

4. रिटर्न एअर फ्लोरचा प्रभाव

जेव्हा मजल्यावरील रिटर्न एअरचा प्रतिकार वेगळा असतो, तेव्हा दबाव फरक निर्माण केला जाईल, जेणेकरून हवा कमी प्रतिकार करण्याच्या दिशेने वाहू शकेल आणि एकसमान वायुप्रवाह प्राप्त होणार नाहीत. सध्याची लोकप्रिय डिझाइन पद्धत उन्नत मजले वापरणे आहे. जेव्हा एलिव्हेटेड मजल्यांचा प्रारंभिक दर 10%असतो, तेव्हा खोलीच्या कार्यरत उंचीतील एअरफ्लो वेग समान रीतीने वितरित केला जाऊ शकतो. याव्यतिरिक्त, मजल्यावरील प्रदूषण स्त्रोत कमी करण्यासाठी साफसफाईच्या कामाकडे कठोर लक्ष दिले पाहिजे.

5. इंडक्शन इंद्रियगोचर

तथाकथित इंडक्शन इंद्रियगोचर या घटनेचा संदर्भ देते की एकसमान प्रवाहाच्या उलट दिशेने वायुप्रवाह तयार होतो आणि खोलीत तयार होणारी धूळ किंवा जवळच्या दूषित क्षेत्रातील धूळ अपविंड बाजूला प्रेरित होते, जेणेकरून धूळ धूळ होईल चिप दूषित करू शकते. खाली संभाव्य प्रेरण घटना आहेत:

(1). अंध प्लेट

उभ्या युनिडायरेक्शनल फ्लोसह स्वच्छ खोलीत, भिंतीवरील सांध्यामुळे, सामान्यत: मोठ्या आंधळ्या प्लेट्स असतात ज्या स्थानिक परतीच्या प्रवाहामध्ये अशांतता निर्माण करतात.

(2). दिवे

क्लीन रूममधील लाइटिंग फिक्स्चरचा जास्त परिणाम होईल. फ्लोरोसेंट दिवे उष्णतेमुळे वायुप्रवाह वाढू लागतो, फ्लोरोसेंट दिवे अंतर्गत कोणतेही अशांत क्षेत्र होणार नाही. सामान्यत: एअरफ्लो संस्थेवरील दिवे कमी करण्यासाठी स्वच्छ खोलीतील दिवे अश्रू आकारात तयार केले जातात.

(3.) भिंती दरम्यान अंतर

जेव्हा वेगवेगळ्या स्वच्छतेच्या पातळीसह विभाजन किंवा विभाजन आणि छत यांच्यात अंतर असते तेव्हा कमी स्वच्छतेच्या आवश्यकता असलेल्या क्षेत्रातील धूळ उच्च स्वच्छतेच्या आवश्यकतेसह जवळच्या भागात हस्तांतरित केली जाऊ शकते.

(4). मशीन आणि मजला किंवा भिंत दरम्यान अंतर

जर मशीन आणि मजला किंवा भिंत यांच्यातील अंतर फारच लहान असेल तर यामुळे गडबड होईल. म्हणूनच, उपकरणे आणि भिंतीमधील अंतर सोडा आणि मशीनला थेट जमिनीवर स्पर्श होऊ देण्यापासून मशीन वाढवा.