चिप उत्पादन उद्योगात चिप उत्पन्न हे चिपवर जमा होणाऱ्या हवेच्या कणांच्या आकार आणि संख्येशी जवळून संबंधित आहे. चांगल्या हवेच्या प्रवाहाचे संघटन धुळीच्या स्रोतांपासून निर्माण होणारे कण स्वच्छ खोलीपासून दूर नेऊ शकते आणि स्वच्छ खोलीची स्वच्छता सुनिश्चित करू शकते. म्हणजेच, स्वच्छ खोलीतील हवेच्या प्रवाहाचे संघटन चिप उत्पादनाच्या उत्पन्नात महत्त्वाची भूमिका बजावते. स्वच्छ खोलीतील हवेच्या प्रवाहाच्या संघटनेच्या डिझाइनमध्ये साध्य करावयाची उद्दिष्टे आहेत: हानिकारक कणांचे धारण टाळण्यासाठी प्रवाह क्षेत्रात एडी करंट कमी करणे किंवा काढून टाकणे; क्रॉस-दूषितता टाळण्यासाठी योग्य सकारात्मक दाब ग्रेडियंट राखणे.
स्वच्छ खोलीच्या तत्त्वानुसार, कणांवर कार्य करणाऱ्या बलांमध्ये वस्तुमान बल, आण्विक बल, कणांमधील आकर्षण, वायु प्रवाह बल इत्यादींचा समावेश होतो.
वायुप्रवाह बल: पुरवठा आणि परतावा वायुप्रवाह, थर्मल संवहन वायुप्रवाह, कृत्रिम आंदोलन आणि कण वाहून नेण्यासाठी विशिष्ट प्रवाह दर असलेल्या इतर वायुप्रवाहांमुळे होणाऱ्या वायुप्रवाहाच्या बलाचा संदर्भ देते. स्वच्छ खोलीच्या पर्यावरणीय तंत्रज्ञान नियंत्रणासाठी, वायुप्रवाह बल हा सर्वात महत्वाचा घटक आहे.
प्रयोगांनी असे दर्शविले आहे की वायुप्रवाहाच्या हालचालीमध्ये, कण जवळजवळ समान वेगाने वायुप्रवाहाचे अनुसरण करतात. हवेतील कणांची स्थिती वायुप्रवाह वितरणाद्वारे निश्चित केली जाते. घरातील कणांवर वायुप्रवाहाचे मुख्य परिणाम हे आहेत: हवा पुरवठा वायुप्रवाह (प्राथमिक वायुप्रवाह आणि दुय्यम वायुप्रवाहासह), लोकांच्या चालण्यामुळे होणारा वायुप्रवाह आणि थर्मल संवहन वायुप्रवाह आणि प्रक्रिया ऑपरेशन्स आणि औद्योगिक उपकरणांमुळे होणारा वायुप्रवाह कणांवर परिणाम. स्वच्छ खोल्यांमध्ये वेगवेगळ्या वायुप्रवाह पद्धती, गती इंटरफेस, ऑपरेटर आणि औद्योगिक उपकरणे, प्रेरित घटना इत्यादी सर्व घटक स्वच्छतेच्या पातळीवर परिणाम करतात.
१. हवा पुरवठा पद्धतीचा प्रभाव
(१) हवा पुरवठ्याचा वेग
एकसमान हवेचा प्रवाह सुनिश्चित करण्यासाठी, एकदिशात्मक प्रवाह असलेल्या स्वच्छ खोलीत हवा पुरवठ्याचा वेग एकसमान असणे आवश्यक आहे; हवा पुरवठ्याच्या पृष्ठभागावरील मृत क्षेत्र लहान असणे आवश्यक आहे; आणि हेपा फिल्टरमधील दाब कमी होणे देखील एकसमान असणे आवश्यक आहे.
हवेच्या पुरवठ्याचा वेग एकसमान आहे: म्हणजेच, हवेच्या प्रवाहाची असमानता ±20% च्या आत नियंत्रित केली जाते.
हवा पुरवठा पृष्ठभागावर कमी मृत जागा आहे: केवळ हेपा फ्रेमचे सपाट क्षेत्र कमी केले पाहिजे असे नाही, तर त्याहूनही महत्त्वाचे म्हणजे, अनावश्यक फ्रेम सुलभ करण्यासाठी मॉड्यूलर FFU वापरला पाहिजे.
हवेचा प्रवाह उभ्या आणि एका दिशेने असावा यासाठी, फिल्टरची दाब कमी होण्याची निवड देखील खूप महत्वाची आहे आणि फिल्टरमधील दाब कमी होणे पक्षपाती असू नये हे आवश्यक आहे.
(२) FFU प्रणाली आणि अक्षीय प्रवाह पंखा प्रणालीमधील तुलना
FFU हे पंखा आणि हेपा फिल्टर असलेले एक हवा पुरवठा युनिट आहे. FFU च्या सेंट्रीफ्यूगल फॅनद्वारे हवा आत घेतली जाते आणि एअर डक्टमधील डायनॅमिक प्रेशरला स्टॅटिक प्रेशरमध्ये रूपांतरित करते. हेपा फिल्टरद्वारे ते समान रीतीने बाहेर काढले जाते. छतावरील हवेचा पुरवठा दाब नकारात्मक दाब असतो. अशा प्रकारे फिल्टर बदलताना स्वच्छ खोलीत कोणतीही धूळ गळणार नाही. प्रयोगांनी असे दर्शविले आहे की FFU सिस्टम एअर आउटलेट एकरूपता, एअर फ्लो समांतरता आणि वेंटिलेशन कार्यक्षमता निर्देशांकाच्या बाबतीत अक्षीय प्रवाह फॅन सिस्टमपेक्षा श्रेष्ठ आहे. कारण FFU सिस्टमची एअर फ्लो समांतरता चांगली आहे. FFU सिस्टमचा वापर स्वच्छ खोलीत एअर फ्लो संघटना सुधारू शकतो.
(३) एफएफयूच्या स्वतःच्या रचनेचा प्रभाव
FFU मध्ये प्रामुख्याने पंखे, फिल्टर, एअर फ्लो गाईड आणि इतर घटक असतात. डिझाइननुसार आवश्यक असलेली स्वच्छता साध्य करण्यासाठी स्वच्छ खोलीसाठी हेपा फिल्टर ही सर्वात महत्त्वाची हमी आहे. फिल्टरची सामग्री प्रवाह क्षेत्राच्या एकरूपतेवर देखील परिणाम करेल. जेव्हा फिल्टर आउटलेटमध्ये खडबडीत फिल्टर सामग्री किंवा फ्लो प्लेट जोडली जाते, तेव्हा आउटलेट फ्लो फील्ड सहजपणे एकसमान बनवता येते.
२. वेगवेगळ्या स्वच्छतेसह स्पीड इंटरफेसचा प्रभाव
त्याच स्वच्छ खोलीत, उभ्या एकदिशात्मक प्रवाहासह कार्यरत क्षेत्र आणि नॉन-वर्किंग क्षेत्राच्या दरम्यान, हेपा बॉक्समधील हवेच्या वेगातील फरकामुळे, इंटरफेसवर मिश्रित भोवरा प्रभाव पडेल आणि हा इंटरफेस एक अशांत वायुप्रवाह क्षेत्र बनेल. हवेच्या अशांततेची तीव्रता विशेषतः तीव्र असते आणि कण उपकरण मशीनच्या पृष्ठभागावर प्रसारित होऊ शकतात आणि उपकरणे आणि वेफर्स दूषित करू शकतात.
३. कर्मचारी आणि उपकरणांवर परिणाम
जेव्हा स्वच्छ खोली रिकामी असते, तेव्हा खोलीतील हवेच्या प्रवाहाची वैशिष्ट्ये सामान्यतः डिझाइनच्या आवश्यकता पूर्ण करतात. एकदा उपकरणे स्वच्छ खोलीत प्रवेश केली की, लोक हलतात आणि उत्पादने वाहून नेली जातात, तेव्हा हवेच्या प्रवाहाच्या संघटनेत अपरिहार्यपणे अडथळे येतात, जसे की उपकरणाच्या मशीनमधून बाहेर पडणारे तीक्ष्ण बिंदू. कोपऱ्यांवर किंवा कडांवर, वायू वळवून एक अशांत प्रवाह क्षेत्र तयार करेल आणि त्या भागातील द्रव येणाऱ्या वायूद्वारे सहजपणे वाहून जाणार नाही, त्यामुळे प्रदूषण होईल.
त्याच वेळी, सतत ऑपरेशनमुळे यांत्रिक उपकरणांची पृष्ठभाग गरम होईल आणि तापमान ग्रेडियंटमुळे मशीनजवळ रिफ्लो क्षेत्र निर्माण होईल, ज्यामुळे रिफ्लो क्षेत्रात कणांचे संचय वाढते. त्याच वेळी, उच्च तापमानामुळे कण सहजपणे बाहेर पडतील. दुहेरी परिणामामुळे एकूण उभ्या थराची तीव्रता वाढते. प्रवाहाची स्वच्छता नियंत्रित करण्यात अडचण येते. स्वच्छ खोलीतील ऑपरेटरकडून येणारी धूळ या रिफ्लो क्षेत्रांमध्ये वेफर्सना सहजपणे चिकटू शकते.
४. परतीच्या हवेच्या मजल्याचा प्रभाव
जेव्हा जमिनीवरून जाणाऱ्या परतीच्या हवेचा प्रतिकार वेगळा असतो, तेव्हा दाबातील फरक निर्माण होतो, ज्यामुळे हवा कमी प्रतिकाराच्या दिशेने वाहते आणि एकसमान हवेचा प्रवाह मिळत नाही. सध्याची लोकप्रिय डिझाइन पद्धत म्हणजे उंच मजला वापरणे. जेव्हा उंच मजल्याचा उघडण्याचा गुणोत्तर १०% असतो, तेव्हा हवेचा प्रवाह वेग घरातील कामाच्या उंचीवर समान रीतीने वितरित केला जाऊ शकतो. याव्यतिरिक्त, जमिनीवरील प्रदूषणाचे स्रोत कमी करण्यासाठी स्वच्छतेच्या कामाकडे काटेकोर लक्ष दिले पाहिजे.
५. प्रेरण घटना
तथाकथित प्रेरण घटना म्हणजे एकसमान प्रवाहाच्या विरुद्ध दिशेने हवेचा प्रवाह निर्माण करणे, खोलीत निर्माण होणारी धूळ किंवा लगतच्या दूषित भागात धूळ वरच्या दिशेने निर्माण करणे, ज्यामुळे धूळ वेफरला दूषित करते. संभाव्य प्रेरित घटनांमध्ये खालील गोष्टींचा समावेश आहे:
(१) ब्लाइंड प्लेट
उभ्या एकेरी प्रवाह असलेल्या स्वच्छ खोलीत, भिंतीवरील सांध्यांमुळे, सामान्यतः मोठे ब्लाइंड पॅनेल असतात जे अशांत प्रवाह आणि स्थानिक बॅकफ्लो निर्माण करतील.
(२) दिवे
स्वच्छ खोलीतील प्रकाशयोजनांचा जास्त परिणाम होईल. फ्लोरोसेंट दिव्याच्या उष्णतेमुळे हवेचा प्रवाह वाढतो, त्यामुळे फ्लोरोसेंट दिवा अशांत क्षेत्र बनणार नाही. साधारणपणे, स्वच्छ खोलीतील दिवे अश्रूंच्या आकारात डिझाइन केले जातात जेणेकरून वायुप्रवाहाच्या संघटनेवर दिव्यांचा प्रभाव कमी होईल.
(३) भिंतींमधील अंतर
जेव्हा वेगवेगळ्या स्वच्छतेच्या आवश्यकता असलेल्या विभाजन भिंती किंवा छतामध्ये अंतर असते, तेव्हा कमी स्वच्छतेच्या आवश्यकता असलेल्या भागातील धूळ उच्च स्वच्छतेच्या आवश्यकता असलेल्या लगतच्या भागात हस्तांतरित केली जाऊ शकते.
(४) यांत्रिक उपकरणे आणि फरशी किंवा भिंतीमधील अंतर
जर यांत्रिक उपकरणे आणि फरशी किंवा भिंतीमधील अंतर कमी असेल तर रिबाउंड टर्ब्युलन्स होईल. म्हणून, उपकरणे आणि भिंतीमध्ये अंतर ठेवा आणि जमिनीशी थेट संपर्क टाळण्यासाठी मशीन प्लॅटफॉर्म उंच करा.
पोस्ट वेळ: नोव्हेंबर-०२-२०२३