स्वच्छ खोलीत हवेच्या प्रवाहाच्या संस्थेवर परिणाम करणारे घटक कोणते आहेत?

चिप उत्पादन उद्योगातील चिप उत्पादन चिपवर जमा केलेल्या हवेच्या कणांच्या आकाराशी आणि संख्येशी जवळून संबंधित आहे. हवेच्या प्रवाहाची चांगली संस्था धुळीच्या स्त्रोतांपासून तयार केलेले कण स्वच्छ खोलीपासून दूर नेऊ शकते आणि क्लीनरूमची स्वच्छता सुनिश्चित करू शकते. म्हणजेच, क्लीनरूममधील वायु प्रवाह संस्था चिप उत्पादनाच्या उत्पन्नामध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. क्लीन रूम एअर फ्लो ऑर्गनायझेशनच्या डिझाईनमध्ये साध्य करावयाची उद्दिष्टे आहेत: हानिकारक कण टिकवून ठेवू नयेत म्हणून प्रवाह क्षेत्रात एडी प्रवाह कमी करणे किंवा काढून टाकणे; क्रॉस-दूषित होण्यापासून रोखण्यासाठी योग्य सकारात्मक दाब ग्रेडियंट राखण्यासाठी.

स्वच्छ खोलीच्या तत्त्वानुसार, कणांवर कार्य करणाऱ्या बलांमध्ये वस्तुमान बल, आण्विक बल, कणांमधील आकर्षण, वायु प्रवाह बल इ.

वायुप्रवाह बल: पुरवठा आणि परतावा वायुप्रवाह, थर्मल संवहन वायुप्रवाह, कृत्रिम आंदोलन, आणि कण वाहून नेण्यासाठी विशिष्ट प्रवाह दरासह इतर वायुप्रवाहांमुळे होणाऱ्या वायुप्रवाहाच्या बलाचा संदर्भ देते. स्वच्छ खोली पर्यावरण तंत्रज्ञान नियंत्रणासाठी, वायु प्रवाह शक्ती सर्वात महत्वाचा घटक आहे.

प्रयोगांनी दर्शविले आहे की वायुप्रवाह हालचालीमध्ये, कण जवळजवळ त्याच वेगाने हवेच्या प्रवाहाचे अनुसरण करतात. हवेतील कणांची स्थिती वायुप्रवाह वितरणाद्वारे निर्धारित केली जाते. घरातील कणांवरील वायुप्रवाहाच्या मुख्य परिणामांमध्ये पुढील गोष्टींचा समावेश होतो: वायु पुरवठा वायुप्रवाह (प्राथमिक वायुप्रवाह आणि दुय्यम वायुप्रवाहासह), लोक चालण्यामुळे होणारा वायुप्रवाह आणि थर्मल संवहन वायुप्रवाह आणि प्रक्रिया ऑपरेशन्स आणि औद्योगिक उपकरणांमुळे होणारे कणांवर वायुप्रवाहाचा प्रभाव. वेगवेगळ्या हवा पुरवठा पद्धती, स्पीड इंटरफेस, ऑपरेटर आणि औद्योगिक उपकरणे, क्लीनरूममध्ये प्रेरित घटना इत्यादी सर्व घटक स्वच्छतेच्या पातळीवर परिणाम करतात.

1. हवा पुरवठा पद्धतीचा प्रभाव

(1) हवा पुरवठ्याचा वेग

एकसमान हवेचा प्रवाह सुनिश्चित करण्यासाठी, दिशाहीन प्रवाह स्वच्छ खोलीत हवा पुरवठा गती एकसमान असणे आवश्यक आहे; हवा पुरवठा पृष्ठभागावरील मृत क्षेत्र लहान असणे आवश्यक आहे; आणि हेपा फिल्टरमधील दबाव ड्रॉप देखील एकसमान असणे आवश्यक आहे.

हवा पुरवठ्याचा वेग एकसमान आहे: म्हणजे, हवेच्या प्रवाहाची असमानता ±20% च्या आत नियंत्रित केली जाते.

हवा पुरवठा पृष्ठभागावर कमी मृत जागा आहे: केवळ हेपा फ्रेमचे समतल क्षेत्र कमी केले जाऊ नये, परंतु अधिक महत्त्वाचे म्हणजे, अनावश्यक फ्रेम सुलभ करण्यासाठी मॉड्यूलर एफएफयू वापरला जावा.

हवेचा प्रवाह अनुलंब आणि दिशाहीन आहे याची खात्री करण्यासाठी, फिल्टरचे दाब ड्रॉप निवडणे देखील खूप महत्वाचे आहे आणि फिल्टरमधील दाब कमी होणे पक्षपाती असू शकत नाही हे आवश्यक आहे.

(2) FFU प्रणाली आणि अक्षीय प्रवाह पंखा प्रणाली यांच्यातील तुलना

FFU हे पंखे आणि हेपा फिल्टरसह हवा पुरवठा करणारे युनिट आहे. FFU च्या सेंट्रीफ्यूगल फॅनद्वारे हवा शोषली जाते आणि डायनॅमिक दाबाचे वायुवाहिनीतील स्थिर दाबामध्ये रूपांतर होते. हे हेपा फिल्टरद्वारे समान रीतीने बाहेर उडवले जाते. कमाल मर्यादेवर हवा पुरवठा दाब नकारात्मक दाब आहे. अशा प्रकारे फिल्टर बदलताना स्वच्छ खोलीत धूळ जाणार नाही. प्रयोगांवरून असे दिसून आले आहे की FFU प्रणाली एअर आउटलेट एकसमानता, वायु प्रवाह समांतरता आणि वायुवीजन कार्यक्षमता निर्देशांकाच्या बाबतीत अक्षीय प्रवाह फॅन प्रणालीपेक्षा श्रेष्ठ आहे. याचे कारण असे की FFU सिस्टीमची हवा प्रवाह समांतरता अधिक चांगली आहे. FFU प्रणालीचा वापर स्वच्छ खोलीत हवा प्रवाह संघटना सुधारू शकतो.

(3) FFU च्या स्वतःच्या संरचनेचा प्रभाव

FFU मुख्यत्वे पंखे, फिल्टर, वायु प्रवाह मार्गदर्शक आणि इतर घटकांनी बनलेले आहे. हेपा फिल्टर स्वच्छ खोलीसाठी डिझाइनद्वारे आवश्यक असलेली आवश्यक स्वच्छता प्राप्त करण्यासाठी सर्वात महत्वाची हमी आहे. फिल्टरची सामग्री प्रवाह क्षेत्राच्या एकसमानतेवर देखील परिणाम करेल. जेव्हा फिल्टर आउटलेटमध्ये रफ फिल्टर सामग्री किंवा फ्लो प्लेट जोडली जाते, तेव्हा आउटलेट फ्लो फील्ड सहजपणे एकसमान बनवता येते.

2. वेगवेगळ्या स्वच्छतेसह स्पीड इंटरफेसचा प्रभाव

त्याच स्वच्छ खोलीत, कार्यरत क्षेत्र आणि उभ्या दिशाहीन प्रवाहासह नॉन-वर्किंग एरिया दरम्यान, हेपा बॉक्समधील हवेच्या वेगातील फरकामुळे, इंटरफेसवर मिश्रित भोवरा परिणाम होईल आणि हा इंटरफेस अशांत होईल. एअरफ्लो झोन. हवेच्या अशांततेची तीव्रता विशेषतः मजबूत आहे आणि कण उपकरणाच्या यंत्राच्या पृष्ठभागावर प्रसारित केले जाऊ शकतात आणि उपकरणे आणि वेफर्स दूषित करू शकतात.

3. कर्मचारी आणि उपकरणांवर परिणाम

जेव्हा स्वच्छ खोली रिकामी असते, तेव्हा खोलीतील हवेच्या प्रवाहाची वैशिष्ट्ये सामान्यतः डिझाइन आवश्यकता पूर्ण करतात. एकदा उपकरणे क्लीनरूममध्ये गेल्यावर, लोक हलतात आणि उत्पादनांची वाहतूक केली जाते, तेव्हा हवा प्रवाह संस्थेमध्ये अपरिहार्यपणे अडथळे येतात, जसे की उपकरण मशीनमधून तीक्ष्ण बिंदू बाहेर येणे. कोपऱ्यात किंवा कडांवर, वायू वळवून एक अशांत प्रवाह क्षेत्र तयार करेल आणि त्या भागातील द्रवपदार्थ येणाऱ्या वायूद्वारे सहज वाहून जाणार नाही, त्यामुळे प्रदूषण होईल.

त्याच वेळी, यांत्रिक उपकरणांची पृष्ठभाग सतत ऑपरेशनमुळे गरम होईल आणि तापमान ग्रेडियंटमुळे मशीनच्या जवळ एक रिफ्लो क्षेत्र निर्माण होईल, ज्यामुळे रिफ्लो क्षेत्रामध्ये कणांचे संचय वाढते. त्याच वेळी, उच्च तापमानामुळे कण सहजपणे बाहेर पडतील. दुहेरी प्रभाव एकंदर उभ्या थराला तीव्र करतो. प्रवाहाची स्वच्छता नियंत्रित करण्यात अडचण. स्वच्छ खोलीतील ऑपरेटर्सची धूळ या रिफ्लो क्षेत्रांमध्ये वेफर्सना सहजपणे चिकटू शकते.

4. रिटर्न एअर फ्लोअरचा प्रभाव

जेव्हा मजल्यातून जाणाऱ्या परतीच्या हवेचा प्रतिकार भिन्न असतो तेव्हा दाबातील फरक दिसून येतो, ज्यामुळे हवा लहान प्रतिकाराच्या दिशेने वाहते आणि एकसमान वायु प्रवाह प्राप्त होणार नाही. सध्याची लोकप्रिय डिझाइन पद्धत म्हणजे उंच मजला वापरणे. जेव्हा एलिव्हेटेड फ्लोअरचे ओपनिंग रेशो 10% असते, तेव्हा हवेच्या प्रवाहाचा वेग घरातील कामकाजाच्या उंचीवर समान रीतीने वितरीत केला जाऊ शकतो. याव्यतिरिक्त, मजल्यावरील प्रदूषणाचे स्त्रोत कमी करण्यासाठी साफसफाईच्या कामावर कठोर लक्ष दिले पाहिजे.

5. इंडक्शन इंद्रियगोचर

तथाकथित इंडक्शन इंद्रियगोचर म्हणजे एकसमान प्रवाहाच्या विरुद्ध दिशेने हवेचा प्रवाह निर्माण करणे, खोलीत निर्माण होणारी धूळ किंवा लगतच्या दूषित भागातील धूळ वरच्या बाजूस प्रवृत्त करणे, ज्यामुळे धूळ वेफरला दूषित करते. संभाव्य प्रेरित घटनांमध्ये खालील गोष्टींचा समावेश होतो:

(1) आंधळी प्लेट

उभ्या एकेरी प्रवाह असलेल्या स्वच्छ खोलीत, भिंतीवरील सांध्यामुळे, सामान्यतः मोठ्या आंधळे फलक असतात जे अशांत प्रवाह आणि स्थानिक बॅकफ्लो निर्माण करतील.

(२) दिवे

स्वच्छ खोलीतील लाइटिंग फिक्स्चरचा अधिक प्रभाव पडेल. फ्लोरोसेंट दिव्याच्या उष्णतेमुळे हवेचा प्रवाह वाढतो, फ्लोरोसेंट दिवा अशांत क्षेत्र बनणार नाही. सामान्यतः, स्वच्छ खोलीतील दिवे हे अश्रूच्या आकारात डिझाइन केलेले असतात जेणेकरून हवेच्या प्रवाहाच्या संस्थेवर दिवेचा प्रभाव कमी होईल.

(३) भिंतींमधील अंतर

जेव्हा वेगवेगळ्या स्वच्छतेच्या आवश्यकतांसह विभाजनाच्या भिंती किंवा छतामध्ये अंतर असते, तेव्हा कमी स्वच्छता आवश्यकता असलेल्या भागांतील धूळ उच्च स्वच्छता आवश्यकता असलेल्या समीप भागात स्थानांतरित केली जाऊ शकते.

(4) यांत्रिक उपकरणे आणि मजला किंवा भिंत यांच्यातील अंतर

जर यांत्रिक उपकरणे आणि मजला किंवा भिंत यांच्यातील अंतर कमी असेल, तर रिबाउंड टर्ब्युलेन्स होईल. म्हणून, उपकरणे आणि भिंत यांच्यामध्ये अंतर ठेवा आणि जमिनीशी थेट संपर्क टाळण्यासाठी मशीन प्लॅटफॉर्म वाढवा.