स्वच्छ खोलीत हवाई प्रवाह संस्थेचे प्रभावशाली घटक काय आहेत?

चिप मॅन्युफॅक्चरिंग उद्योगातील चिप उत्पन्न चिपवर जमा केलेल्या हवेच्या कणांच्या आकार आणि संख्येशी जवळून संबंधित आहे. चांगली हवा प्रवाह संस्था स्वच्छ खोलीपासून दूर धूळ स्त्रोतांमधून तयार केलेले कण घेऊ शकते आणि क्लीनरूमची स्वच्छता सुनिश्चित करू शकते. म्हणजेच, क्लीनरूममधील एअर फ्लो ऑर्गनायझेशन चिप उत्पादनाच्या उत्पन्नामध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. क्लीन रूम एअर फ्लो ऑर्गनायझेशनच्या डिझाइनमध्ये साध्य करण्याचे उद्दीष्ट आहेतः हानिकारक कणांची धारणा टाळण्यासाठी प्रवाह क्षेत्रातील एडी प्रवाह कमी करणे किंवा दूर करणे; क्रॉस-दूषितपणा टाळण्यासाठी योग्य सकारात्मक दबाव ग्रेडियंट राखण्यासाठी.

स्वच्छ खोलीच्या तत्त्वानुसार, कणांवर कार्य करणार्‍या शक्तींमध्ये वस्तुमान शक्ती, आण्विक शक्ती, कणांमधील आकर्षण, हवेचा प्रवाह शक्ती इत्यादींचा समावेश आहे.

एअरफ्लो फोर्स: पुरवठा आणि रिटर्न एअरफ्लो, थर्मल कन्व्हेक्शन एअरफ्लो, कृत्रिम आंदोलन आणि कण वाहून नेण्यासाठी विशिष्ट प्रवाह दरासह इतर वायुप्रवाहामुळे उद्भवणार्‍या एअरफ्लोच्या शक्तीचा संदर्भ देते. स्वच्छ खोली पर्यावरण तंत्रज्ञान नियंत्रणासाठी, हवाई प्रवाह शक्ती हा सर्वात महत्वाचा घटक आहे.

प्रयोगांनी हे सिद्ध केले आहे की एअरफ्लो हालचालीत कण जवळजवळ त्याच वेगाने एअरफ्लोचे अनुसरण करतात. हवेमध्ये कणांची स्थिती एअरफ्लो वितरणाद्वारे निश्चित केली जाते. घरातील कणांवरील एअरफ्लोच्या मुख्य परिणामामध्ये हे समाविष्ट आहेः एअर सप्लाय एअरफ्लो (प्राथमिक एअरफ्लो आणि दुय्यम एअरफ्लोसह), एअरफ्लो आणि थर्मल कन्व्हेक्शन एअरफ्लो आणि लोक चालविण्यामुळे होतात आणि प्रक्रिया ऑपरेशन्स आणि औद्योगिक उपकरणांमुळे होणार्‍या कणांवर एअरफ्लोचा परिणाम. क्लीनरूममध्ये वेगवेगळ्या हवाई पुरवठा पद्धती, स्पीड इंटरफेस, ऑपरेटर आणि औद्योगिक उपकरणे, प्रेरित घटना इत्यादी सर्व घटक आहेत जे स्वच्छतेच्या पातळीवर परिणाम करतात.

1. हवाई पुरवठा पद्धतीचा प्रभाव

(१) हवाई पुरवठा वेग

एकसमान हवेचा प्रवाह सुनिश्चित करण्यासाठी, युनिडायरेक्शनल फ्लो क्लीन रूममधील हवेचा पुरवठा वेग एकसमान असणे आवश्यक आहे; हवाई पुरवठा पृष्ठभागावरील डेड झोन लहान असणे आवश्यक आहे; आणि एचईपीए फिल्टरमधील दबाव ड्रॉप देखील एकसमान असणे आवश्यक आहे.

हवेचा पुरवठा वेग एकसमान आहे: म्हणजेच, हवेच्या प्रवाहाचे असमानता ± 20%च्या आत नियंत्रित केले जाते.

हवाई पुरवठा पृष्ठभागावर कमी जागा आहे: एचईपीए फ्रेमचे विमान क्षेत्र कमी केले जाऊ नये, परंतु महत्त्वाचे म्हणजे, अनावश्यक फ्रेम सुलभ करण्यासाठी मॉड्यूलर एफएफयूचा वापर केला पाहिजे.

हवेचा प्रवाह अनुलंब आणि निर्देशात्मक आहे हे सुनिश्चित करण्यासाठी, फिल्टरची प्रेशर ड्रॉप निवड देखील खूप महत्वाची आहे आणि फिल्टरमधील दबाव कमी होणे आवश्यक आहे.

(२) एफएफयू सिस्टम आणि अक्षीय फ्लो फॅन सिस्टम दरम्यान तुलना

एफएफयू एक फॅन आणि एचईपीए फिल्टरसह एअर सप्लाय युनिट आहे. एफएफयूच्या केन्द्रापसारक चाहत्याने हवा चोखली आणि डायनॅमिक प्रेशरला हवेच्या नलिकामध्ये स्थिर दाबामध्ये रूपांतरित केले. हेपा फिल्टरने हे समान रीतीने उडवले आहे. कमाल मर्यादेवर हवा पुरवठा दबाव नकारात्मक दबाव आहे. फिल्टरची जागा घेताना अशा प्रकारे कोणतीही धूळ स्वच्छ खोलीत गळती होणार नाही. प्रयोगांनी हे सिद्ध केले आहे की एफएफयू सिस्टम एअर आउटलेट एकरूपता, एअर फ्लो समांतर आणि वेंटिलेशन कार्यक्षमता निर्देशांकाच्या दृष्टीने अक्षीय फ्लो फॅन सिस्टमपेक्षा श्रेष्ठ आहे. कारण एफएफयू प्रणालीचा हवेचा प्रवाह समांतरता अधिक चांगला आहे. एफएफयू सिस्टमचा वापर स्वच्छ खोलीत हवा प्रवाह संस्था सुधारू शकतो.

()) एफएफयूच्या स्वतःच्या संरचनेचा प्रभाव

एफएफयू प्रामुख्याने चाहते, फिल्टर, एअर फ्लो मार्गदर्शक आणि इतर घटकांनी बनलेले आहे. डिझाइनद्वारे आवश्यक स्वच्छता साध्य करण्यासाठी स्वच्छ खोलीसाठी एचईपीए फिल्टर ही सर्वात महत्वाची हमी आहे. फिल्टरची सामग्री प्रवाह फील्डच्या एकसमानतेवर देखील परिणाम करेल. जेव्हा फिल्टर आउटलेटमध्ये रफ फिल्टर मटेरियल किंवा फ्लो प्लेट जोडली जाते, तेव्हा आउटलेट फ्लो फील्ड सहजपणे एकसमान बनविले जाऊ शकते.

2. वेगवेगळ्या स्वच्छतेसह स्पीड इंटरफेसचा प्रभाव

त्याच स्वच्छ खोलीत, कार्यरत क्षेत्र आणि उभ्या युनिडायरेक्शनल फ्लोसह काम न करणार्‍या क्षेत्राच्या दरम्यान, एचईपीए बॉक्समध्ये हवेच्या गतीच्या फरकामुळे, इंटरफेसवर मिश्रित भोवरा प्रभाव येईल आणि हा इंटरफेस एक अशांत होईल एअरफ्लो झोन. हवेच्या अशांततेची तीव्रता विशेषतः मजबूत आहे आणि कण उपकरण मशीनच्या पृष्ठभागावर संक्रमित केले जाऊ शकतात आणि उपकरणे आणि वेफर्स दूषित करतात.

3. कर्मचारी आणि उपकरणांवर परिणाम

जेव्हा स्वच्छ खोली रिक्त असते, खोलीतील हवेच्या प्रवाहाची वैशिष्ट्ये सामान्यत: डिझाइन आवश्यकता पूर्ण करतात. एकदा उपकरणे क्लीनरूममध्ये प्रवेश केल्यावर, लोक हलतात आणि उत्पादने वाहतूक केली जातात, एअर फ्लो संस्थेमध्ये अपरिहार्यपणे अडथळे आहेत, जसे की उपकरणे मशीनमधून तीक्ष्ण बिंदू. कोप and ्यात किंवा काठावर, गॅस अशांत प्रवाहाचे क्षेत्र तयार करण्यासाठी वळेल आणि त्या क्षेत्रातील द्रव सहजपणे येणार्‍या गॅसमुळे दूर नेला जाणार नाही, ज्यामुळे प्रदूषण होईल.

त्याच वेळी, सतत ऑपरेशनमुळे यांत्रिक उपकरणांची पृष्ठभाग गरम केली जाईल आणि तापमान ग्रेडियंट मशीनच्या जवळ एक रिफ्लो क्षेत्र कारणीभूत ठरेल, ज्यामुळे रिफ्लो क्षेत्रात कण जमा होतात. त्याच वेळी, उच्च तापमानामुळे कण सहजपणे सुटू शकतात. ड्युअल प्रभाव एकूण उभ्या थर तीव्र करते. प्रवाह स्वच्छता नियंत्रित करण्याची अडचण. स्वच्छ खोलीतील ऑपरेटरची धूळ या रिफ्लो भागात सहजपणे वेफर्सचे पालन करू शकते.

4. रिटर्न एअर फ्लोरचा प्रभाव

जेव्हा मजल्यावरील परत जाणा return ्या रिटर्न एअरचा प्रतिकार वेगळा असतो, तेव्हा दबाव फरक उद्भवू शकतो, ज्यामुळे हवा लहान प्रतिकारांच्या दिशेने वाहते आणि एकसमान हवेचा प्रवाह प्राप्त होणार नाही. सध्याची लोकप्रिय डिझाइन पद्धत म्हणजे एलिव्हेटेड फ्लोर वापरणे. जेव्हा एलिव्हेटेड मजल्याचे सुरुवातीचे प्रमाण 10%असते, तेव्हा हवेच्या प्रवाहाचा वेग घरातील कामकाजाच्या उंचीवर समान रीतीने वितरित केला जाऊ शकतो. याव्यतिरिक्त, मजल्यावरील प्रदूषणाचा स्त्रोत कमी करण्यासाठी साफसफाईच्या कामाकडे कठोर लक्ष दिले पाहिजे.

5. इंडक्शन इंद्रियगोचर

तथाकथित इंडक्शन इंद्रियगोचर म्हणजे एकसमान प्रवाहाकडे उलट दिशेने वायुप्रवाह निर्माण करण्याच्या घटनेचा संदर्भ देते, ज्यामुळे जवळच्या दूषित भागात खोलीत किंवा धूळ वाढविणारी धूळ अपविंड बाजूने होते, ज्यामुळे धूळ वेफरला दूषित करते. संभाव्य प्रेरित घटनेमध्ये पुढील गोष्टींचा समावेश आहे:

(१) अंध प्लेट

उभ्या एक-मार्ग प्रवाह असलेल्या स्वच्छ खोलीत, भिंतीवरील सांध्यामुळे, सामान्यत: मोठ्या आंधळे पॅनेल्स असतात जे अशांत प्रवाह आणि स्थानिक बॅकफ्लो तयार करतात.

(२) दिवे

स्वच्छ खोलीत लाइटिंग फिक्स्चरचा जास्त परिणाम होईल. फ्लोरोसेंट दिवाच्या उष्णतेमुळे एअरफ्लो वाढत असल्याने फ्लूरोसंट दिवा एक अशांत क्षेत्र बनणार नाही. सामान्यत: एअरफ्लो संस्थेवरील दिवे कमी करण्यासाठी स्वच्छ खोलीतील दिवे अश्रू आकारात तयार केले जातात.

()) भिंतींमधील अंतर

जेव्हा विभाजनाच्या भिंती किंवा वेगवेगळ्या स्वच्छतेच्या आवश्यकतांसह मर्यादा असतात तेव्हा कमी स्वच्छतेची आवश्यकता असलेल्या भागातील धूळ उच्च स्वच्छतेची आवश्यकता असलेल्या जवळच्या भागात हस्तांतरित केली जाऊ शकते.

()) यांत्रिक उपकरणे आणि मजला किंवा भिंत यांच्यातील अंतर

यांत्रिक उपकरणे आणि मजला किंवा भिंत यांच्यातील अंतर लहान असल्यास, रीबाउंड अशांतता उद्भवू शकते. म्हणूनच, उपकरणे आणि भिंतीमधील अंतर सोडा आणि जमिनीशी थेट संपर्क टाळण्यासाठी मशीन प्लॅटफॉर्म वाढवा.